3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS5000」を新発売

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3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS5000」

オリンパス株式会社(社長:笹 宏行)は、科学事業の新製品として電子部品・半導体業界、自動車業界の研究・開発や品質検査などで使用する3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS5000」を10月18日から全世界で同時発売します。

3D測定レーザー顕微鏡は、サンプルの表面をレーザー光でスキャンすることにより微細形状の拡大観察や、表面粗さ、段差などの形状測定が可能な測定機です。今回発売する「LEXT OLS5000」は「LEXT OLS4100」の後継機です。「4Kスキャンテクノロジー」や改良されたLEXT専用光学系によりほぼ垂直な形状やナノに迫る微小段差が検出可能となり、測定性能が大幅に向上しました。また従来比4倍のデータ取得スピード実現に加え、従来オペレーターの操作に依存していた各種設定の自動化やさらなるユーザビリティーの追求により、直感的に操作可能なソフトウェアを提供します。さらに、最大サンプル高さ210mmに対応した拡張フレームやLEXT専用長作動距離レンズ※1を新たに追加したことで、これまでよりも大きなサンプルや凹凸のあるサンプルも高精度に測定可能です。これらにより、観察からデータ取得、解析、レポート作成までお客様の高度なニーズに幅広く貢献します。

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