(レーザー関連)世界最高出力でガラスなどの高速微細加工を実現/「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」を開発

 三菱電機株式会社(以下、三菱電機)、国立大学法人大阪大学(以下、大阪大学)、スペクトロニクス株式会社(以下、スペクトロニクス)は、次世代のレーザー加工装置として、高速に微細加工できる「高出力深紫外ピコ秒※1

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