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（レーザー関連）株式会社日立ハイテク／高感度・高スループットを両立したウェーハ表面検査装置「LS9600」を発売

－歩留まり向上、検査コスト削減に貢献するインラインウェーハ表面検査装置－株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、このたびパターンなしウェーハ表面における異物や欠陥を検査する「LS9600」(以下、本製品)を発売し

～高電圧用のダイヤモンド電子デバイスの開発へ前進～千葉大学大学院工学研究院の比田井洋史教授、尾松孝茂教授らの研究チームは、レーザーの照射により絶縁体であるダイヤモンド内部の一部が変質して導電性を示す現象について研究し

―量子センサーやエネルギー変換に新たな道― 概要京都大学化学研究所田原弘量助教現在京都大学白眉センター特定准教授）、坂本雅典准教授、寺西利治教授、金光義彦教授の研究グループは、半導体量子ドット

【発表概要】株式会社東レリサーチセンター（所在地：東京都中央区日本橋本町一丁目1番1号、社長：川村邦昭）は、株式会社堀場製作所（所在地：京都市南区吉祥院宮の東町2番、社長：足立正之）の協力のもと、高い空間分解能と安定動

ナノスケールでGaNの厚さ分布を観測する新技術研究成果のポイントワイドバンドギャップGaNとInGaNで構成する多重量子井戸構造半導体の光に対する複雑な高速応答を解明した。 InGaN/GaN多重量子井戸構造は、大き

―光通信帯における新たな超高速光スイッチング技術の開発に期待― 概要京都大学化学研究所の金光義彦教授、湯本郷同特定助教、廣理英基同准教授、寺西利治教授らの研究グループは、レーザー光パルスをハライドペロブスカイト

本研究のポイント：励起子とは、負の電荷を帯びた電子が正の電荷を帯びた正孔と結合してできる励起粒子。本研究では、最先端技術を駆使し、励起子内の電子を世界で初めて撮影した。極端紫外光を使って励起子を分解し、電子を電子顕

～室温でスピン情報が容易に失われる半導体の常識を覆し，実用の光スピンデバイス半導体を確立～ポイント実用半導体で, 室温で90%，110℃でも80%まで電子のスピン偏極を増幅し，光スピン情報に変換。超低消費電力のスピ

― 阪大発のテラヘルツ波放射顕微鏡が半導体 3 次元集積回路開発を加速する ― 【研究成果のポイント】 3 次元集積回路開発に重要なシリコン貫通電極（TSV）分析技術を新たに開発した。半導体集積回路はあらゆる分野で必須

｢Beyond 5G｣時代に必要な半導体技術の貢献に期待芝浦工業大学（東京都港区／学長村上雅人）工学部機械工学科の松尾繁樹教授、徳島大学大学院社会産業理工学研究部の直井美貴教授らの研究グループは、完全に透