タグ: 物質加工

製品ニュース

（レーザー関連）株式会社オキサイド／半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザを新たに製品化

～高精度・低ダメージの微細加工で半導体製造の歩留まり改善と工程短縮に貢献～ 株式会社オキサイド（本社：山梨県北杜市武川町牧原 1747 番地 1、代表取締役社長 山本正幸）は、これまで当社の主力製品である半導体ウエハ欠陥

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学術ニュース

（レーザー関連）東京科学大学他／【共同発表】レーザで描くフォノニックナノ構造による半導体サーマルマネジメント

－ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待－ （発表主体：東京科学大学） ○発表のポイント： 伝熱制御特性を持つフォノニックナノ構造を従来手法の1,000倍以上高速に作製。 サーモリフレクタンス法とモンテカル

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製品ニュース

（レーザー関連）三菱電気株式会社他／世界初、マイクロバブルの力で流路内に数ミリメートルの流れを生成する技術を開発

外部ポンプを不要とする次世代冷却システムの開発に寄与し、 カーボンニュートラルの実現に貢献  三菱電機株式会社は、国立大学法人京都大学（以下、京都大学）大学院工学研究科の鈴木・名村グループとの共同研究により、直

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