(レーザー関連)株式会社日立ハイテク/ウェーハメーカー向け高感度・高スループットウェーハ表面検査装置「LS9300AD」を発売

低アスペクトな微小欠陥の検出を可能にし、検査コスト削減および歩留まり向上に貢献 株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、このたび、パターンなしウェーハ表面および裏面の異物や欠陥を検査する「LS9300AD」(以下、

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(レーザー関連)新エネルギー・産業技術総合開発機構他/NEDOと産総研、ファインセラミックス内部のキラー欠陥の可視化技術を開発

―ファインセラミックスのプロセス・インフォマティクス構築を目指す―  NEDOと国立研究開発法人産業技術総合研究所(産総研)は、ファインセラミックスのプロセス・インフォマティクス(PI)の構築を目指して、「次世代ファイン

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(レーザー関連)大阪大学他/薄くて柔らかいシート型光センサが拓く“やさしい光分析技術”

簡易な “非採取”液質評価や“非接触”イメージングへ 研究成果のポイント 測定対象物を傷つけない“薄くて柔らかい”シート型光センサを開発し、光だけでなく熱や分子などに関連する電磁波(光)を“簡便に”検知・イメージングでき

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(テラヘルツ関連)新エネルギー・産業技術総合開発機構/世界初、グラフェンなどの二次元材料テープを開発

―二次元材料を高効率、簡単に転写可能な技術で次世代半導体の開発に貢献―  NEDOは委託事業として「NEDO先導研究プログラム」(以下、本事業)に取り組んでおり、今般、国立大学法人九州大学と日東電工株式会社と共同で、世界

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