東京農工大ら、フェムト秒レーザーで操られた電子の集団振動現象を観測

東京農工大学 大学院工学研究院の宮地 悟代 准教授は、同大学大学院生(当時)の萩谷 将人 氏と、宮崎 健 創 京都大学名誉教授とともに、電子デバイスに広く用いられている半導体材料である「シリコン」表面に、高強度のフェムト秒レーザーパルス[注 1]を照射することによって、光と結合した電子の集団振動現象 ~ 表面プラズモンポラリトン[注 2] ~ が発生することを、世界で初めて観測することに成功しました。この現象をうまく利 用すると、レーザー光を照射するだけでナノメートルサイズの微細な溝や穴を直接削り出すことができるため、 薬剤等が不要な新しい微細加工技術の実現が期待されます。

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