（レーザー関連）フェムト秒レーザー光の高次高調波によって薄膜の微細加工に成功！

―　極端紫外光の回折限界集光が拓く微細加工の最前線　―

発表のポイント

• 近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波として極端紫外光を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光し、サブマイクロメートルスケールで微細加工を実現。
• 極端紫外域の高次高調波光によって加工が実現されるための照射強度の閾値を、PMMA薄膜および金属ナノ粒子レジスト薄膜について決定。
• 極端紫外域の高次高調波光による加工部位を顕微ラマン分光によって評価し、極端紫外光によるPMMA薄膜の加工に伴い薄膜内の化学結合が切断されることを発見。

発表概要

国立大学法人東京大学（総長：五神 真）大学院理学系研究科化学専攻の山内 薫教授、岩崎純史教授、本山央人助教、大学院工学系研究科附属光量子科学研究センターの坂上和之主幹研究員、同精密工学専攻の三村秀和准教授、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(理事長：平野俊夫)量子ビーム科学部門関西光科学研究所の石野雅彦主幹研究員、国立大学法人宇都宮大学（学長：石田朋靖）工学部の東口武史教授、国立研究開発法人産業技術総合研究所（理事長：石村和彦）先端オペランド計測技術オープンイノベーションラボラトリ（兼務：分析計測標準研究部門）黒田隆之助ラボチーム長らの研究グループは、近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波（注１）として極端紫外光（注２）を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光して試料に照射することによって、サブマイクロメートルスケールでの微細加工を実現しました。