1. はじめに サンフランシスコ@米国で毎年2月初旬に開催され るレーザー装置&光学製品に関する世界最大規模の展示会【Photonics West 2023】、ミュンヘン@独国で2年に一度6月下旬に開催される先端
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(レーザー関連)株式会社ニコン/ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を発売
クリティカルレイヤー向けの最上位機種、半導体デバイスの三次元化にも貢献 株式会社ニコン(社長:馬立 稔和、東京都港区)は、ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を発売します。ニコン史上最高の生産性を誇り、重ね合わせ精
続きを読む(レーザー関連)米・EFC社/EFC Launches Cymer-Qualified Neon Gas Recycling System, a Game Changer for Excimer Lasers
日本語で読みたい方は、 google chromeで開いて、 画面上で右クリックをして 「日本語に翻訳」をクリックしてください [Hopkinton, Massachusetts] – EFC Gases & A
続きを読む(レーザー関連)株式会社ニコン/ニコンの半導体露光装置史上最高の生産性を実現 ArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売
株式会社ニコン(社長:馬立 稔和、東京都港区)は、ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売します。スループットおよび装置の稼働安定性を向上させたことで、ニコンの半導体露光装置史上最
続きを読む(レーザー関連)Materials Research With Ultrashort-Pulse Laser Source
University of Bayreuth uses new LPKF ProtoLaser R4 Researchers in engineering sciences at the University of Ba
続きを読む次世代半導体リソグラフィ光源の空間構造が明らかに
九州大学大学院総合理工学研究院の富田健太郎助教・内野喜一郎教授、ギガフォトン株式会社の開発チーム、西原功修博士(大阪大学名誉教授)およびレーザー技術総合研究所の砂原淳博士(現・米国 Purdue 大学)らは、次世代の半導
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