次世代半導体デバイス製造のキーテクノロジー 理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 先端レーザー加工研究チームの杉岡 幸次 チームディレクター、光励起デジタルツイン理研ECL研究チームの谷 峻太郎 理研ECL研究チー
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タグ: ガラスレーザー
【レーザー関連】光響／次世代半導体パッケージ向けガラスコア基板加工に適用
― GHz Pulse Injection Technology による透明体加工事例を公開 ― 株式会社光響はこのたび、当社超高精密フェムト秒レーザー加工機「Femto-pro」を用い、ガラスなどの透明体
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