次世代半導体デバイス製造のキーテクノロジー 理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 先端レーザー加工研究チームの杉岡 幸次 チームディレクター、光励起デジタルツイン理研ECL研究チームの谷 峻太郎 理研ECL研究チー
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タグ: ウエハとマスク検査
（レーザー関連）東京エレクトロン デバイス株式会社他／東京エレクトロンデバイスとアイテス、 SiCデバイスの潜在欠陥をウェーハレベルで可視化する検査ソリューションで協業
UVレーザー技術を用いた新製品「SiC潜在欠陥検査装置／通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」の開発・販売により材料評価リードタイムを短縮し、 高信頼なSiCデバイス開発を支援 東京エレクトロン デバイス株式会社
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