（テラヘルツ関連）東京農工大学他／高性能テラヘルツ検出器に向けたスペーサーレス基板一体型メタサーフェス吸収体の開発に成功

超薄・超低応力・高プロセス整合性・低コストな
次世代 THz・赤外センシング基盤

発表のポイント

• 国テラヘルツ（THz）波を約95％吸収する、シリコン基板一体型の新しいメタサーフェス吸収体を開発しました。
• 従来の高性能吸収体に必要だった絶縁体のスペーサー層を使用せず、シリコン基板の微細な凹凸を利用して高い吸収率を実現しました。
• 吸収体の薄型・軽量・低応力化に加え、既存の半導体・MEMS製造工程への組み込みやすさと低コスト化が期待できます。
• MEMSボロメータなどのTHz検出器に集積することで、高感度・高速・広帯域のTHz受信システムへの展開が期待されます。