株式会社ニコン（社長：馬立 稔和、東京都港区）は、ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売します。スループットおよび装置の稼働安定性を向上させたことで、ニコンの半導体露光装置史上最
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タグ: リソグラフィ
（レーザー関連）Materials Research With Ultrashort-Pulse Laser Source
University of Bayreuth uses new LPKF ProtoLaser R4 Researchers in engineering sciences at the University of Ba
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次世代半導体リソグラフィ光源の空間構造が明らかに
九州大学大学院総合理工学研究院の富田健太郎助教・内野喜一郎教授、ギガフォトン株式会社の開発チーム、西原功修博士（大阪大学名誉教授）およびレーザー技術総合研究所の砂原淳博士（現・米国 Purdue 大学）らは、次世代の半導
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