ICパッケージ技術研究用に、加工用途向けエキシマレーザー「G300K」が採用される
2022年2月16日
栃木県小山市； 2022年2月16日 – 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、加工用途向けKrFエキシマレーザー「G300K」が台湾の国家実験研究院のプロジェクトに採用され、12/27、国立成功大学に納入したと発表しました。
台湾の国家実験研究院（NARLabos）の参画機関である国立成功大学では、国家プロジェクトとして、エキシマレーザーを使ったICパッケージング技術に関する研究を進めています。今回の採用は、微細アブレーションを始めとする「加工の最適化」をコンセプトとして開発されたギガフォトンのKrFレーザー「G300K」が、この研究に最適と判断され、実現しました。
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