フェムト秒レーザーアブレーション初期過程からのテラヘルツ波放射をパルスごとに観測することに成功
本研究のポイント
- フェムト秒レーザーアブレーション初期過程からのテラヘルツ波放射をパルスごとに観測することに成功
- 高感度なシングルショット分光法を適用することで、世界で初めて10 V/cmの微弱なテラヘルツ波をシングルショットで検出した
- 今後、本技術を用いてテラヘルツ波放射を観測し、レーザー加工初期過程を解明することで、加工の効率化や最適化につながることが期待される
【研究成果】
【研究概要】
神奈川県立産業技術総合研究所の玉置亮常勤研究員、横浜国立大学の笠井達基大学院生（研究当時）、片山郁文教授、武田淳教授、株式会社ニコンの浅井岳氏、瀧川雄一氏らの研究グループは、フェムト秒レーザー加工初期過程において生じる電荷分離を起源としたテラヘルツ波放射を、励起パルスごとに観測することに成功しました。そして、その波形がレーザー加工の進行に伴って変化していくことを見出しました。これらの結果は、テラヘルツ波放射とレーザー加工過程が強い相関を持つことを示唆しており、この現象を利用して加工初期過程を解明することで、加工の効率化や最適化の実現につながると期待されます。
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