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Pulsus™ is the semiconductor industry’s first pulsed laser deposition tool designed for mass production
FREMONT, Calif., March 26, 2024 /PRNewswire/
— Lam Research Corp. (Nasdaq: LRCX) today introduced the world’s first production-oriented pulsed laser deposition (PLD) tool to enable next-generation MEMS-based microphones and radio frequency (RF) filters. Lam’s Pulsus™ PLD system delivers aluminum scandium nitride (AlScN) films with the highest scandium content available. This paves the way for advanced consumer and automotive devices with enhanced performance, capability and functionality. Pulsus is now shipping to select specialty device manufacturers.
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