次世代半導体デバイス実現に期待
東京理科大学
大阪大学
理化学研究所
科学技術振興機構（JST）
研究の要旨とポイント
- 無配向なカーボンナノチューブ（CNT）膜に、偏光制御された超短パルスレーザーを照射して、特定の向きに並んだ構造を局所形成する新技術を開発しました。
- サブマイクロスケールの空間解像度で、従来最高水準の極めて高い配向品質を達成しました。
- 同一チップ上に異なる方位のCNTを高密度集積でき、局所配向CNTを画素とした「テラヘルツ偏光イメージセンサー」や、次世代の「高速・低消費電力ロジックデバイス」の実現が期待されます。
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