―微細加工で超小型波長変換デバイスを実現―
【研究成果のポイント】
- 従来のデバイスと全く異なる材料・構造の窒化物半導体超小型デバイスで波長変換を実証
- 深紫外光による殺菌・消毒が注目を集めているが、殺菌・消毒効果が高く人体に無害な波長で、かつ高効率・長寿命な深紫外光源は実用化されていない
- ドライエッチングと異方性ウェットエッチングを駆使した微細加工技術を開発
- 従来より広範な材料に適用可能で、深紫外光発生や広帯域光子対発生への応用に期待
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