(レーザー関連)三菱ケミカルグループ/半導体フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス™」の生産能力増強

~九州事業所・福岡地区にArFフォトレジスト用リソマックス™およびEUVフォトレジスト用リソマックス™の各量産設備を新設~


 
三菱ケミカルグループ(以下「当社グループ」)は、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス™」の生産能力を増強するため、三菱ケミカル九州事業所・福岡地区(福岡県北九州市)において、ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソマックス™およびEUV(極端紫外線)フォトレジスト用リソマックス™の各量産設備を新設することを決定しました。

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