高信頼なSiCデバイス開発を支援
東京エレクトロン デバイス株式会社（本社：東京都渋谷区、代表取締役社長：宮本 隆義、以下「TED」）と、電子部品の分析解析・信頼性評価サービス等を手掛ける株式会社アイテス（本社：滋賀県大津市、代表取締役社長：五十嵐 靖行、以下「アイテス」）は、SiC（シリコンカーバイド）デバイス向けの潜在欠陥検査ソリューション分野で協業することをお知らせします。
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