【発表概要】
株式会社東レリサーチセンター（所在地：東京都中央区日本橋本町一丁目1番1号、社長：川村邦昭）は、株式会社堀場製作所（所在地：京都市南区吉祥院宮の東町2番、社長：足立正之）の協力のもと、高い空間分解能と安定動作を両立させた実用型の近接場ラマン分光装置を新たに開発しました。本装置により、パワー半導体上の応力歪みを、約100 nmの高い空間分解能で安定に評価することが可能となりました。
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