（エキシマレーザー関連）ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を開発

株式会社ニコン（社長：馬立 稔和、東京都港区）は、高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し、最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進めています。発売は、2023年を予定しています。