(テラヘルツ関連)東北大学/6G通信に向けたテラヘルツ光スイッチを開発

単層シリコン基板で導波路とMEMSの一体化を世界初実証

【発表のポイント】

  • テラヘルツ帯(注 1)で動作するスイッチングデバイス(光スイッチ)を開
    発しました。
  • 従来の複雑な多層構造ではなく、単層シリコン基板上での作製に成功し
    ました。
  • 消費電力 3.6mW の低消費電力と高いスイッチ性能(消光比 13.69dB)(注 2)
    を実現しました。
  • 6G通信(注3)に向けたフォトニック集積回路の小型化・低電力化に貢献す
    ることが期待されます。

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