2026年8月25日
理化学研究所
宇都宮大学
理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 未踏レーザー科学研究チームの高橋 栄治 チームディレクター、宇都宮大学 工学部基盤工学科の東口 武史 教授らの国際共同研究グループは、先端半導体[1]を製造する露光装置の駆動レーザーとして期待される、波長2マイクロメートル（μm、1μmは100万分の1メートル）の固体レーザー（2μm固体レーザー[2]）を用いた極端紫外（EUV）光[3]発生において、マルチレーザー照射法[4]が有効であることを初めて実証しました。
本研究成果は、EUV露光装置[5]で必要とされる駆動レーザーエネルギーの低減や省電力化につながると期待されます。
現在のEUV露光装置では波長10.6μm炭酸ガスレーザー[6]が用いられていますが、その消費電力の大きさが課題となっており、電力効率に優れた2μm固体レーザーへの置き換えが世界中で検討されています。一方2μm固体レーザーは、EUV露光装置が必要とするレーザー出力にはいまだ達しておらず、レーザーエネルギーを低減しながら高いEUV光変換効率[7]を実現する技術が求められていました。今回、国際共同研究グループは、2μm固体レーザーを用いたEUV光発生にマルチレーザー照射法を適用し、EUV光変換効率を2.6％から3.6％へ、約40％向上させることに成功しました。本成果により、1本当たりのレーザーエネルギーを低減させつつ、複数のレーザーを同時にEUV光発生に使用することで高いEUV光変換効率を維持できることを実証しました。これは、比較的低出力の2μm固体レーザーを複数台組み合わせて高効率なEUV光発生を実現できる可能性を示すものであり、EUV露光装置の省電力化の実現を後押しする成果です。
本研究は、科学雑誌『Optics Letters』（8月24日付）に掲載されました。
この情報へのアクセスはメンバーに限定されています。ログインしてください。メンバー登録は下記リンクをクリックしてください。