ウエハとマスク検査

（レーザー関連）東京エレクトロンデバイス株式会社他／東京エレクトロンデバイスとアイテス、 SiCデバイスの潜在欠陥をウェーハレベルで可視化する検査ソリューションで協業

UVレーザー技術を用いた新製品「SiC潜在欠陥検査装置／通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」の開発・販売により材料評価リードタイムを短縮し、高信頼なSiCデバイス開発を支援東京エレクトロンデバイス株式会社