走査型プローブ顕微鏡において、熱ダメージレスで 組成や分子構造を計測するレーザー技術を開発

図1　本方式の測定原理

株式会社日立製作所(執行役社長兼CEO:東原 敏昭／以下、日立)は、物質(試料)の表面状態を拡大観察する際に用いられる、走査型プローブ顕微鏡向けの新しい測定プローブによる計測技術を開発しました。本技術は、測定プローブの上方にレーザー光を照射することで、そこから伝播・発生した局在的な光スポットを用いて物質を計測する技術です(図1）。これにより、測定時に物質近くにある測定プローブ先端へのレーザー光の直接照射を回避できるため、物質に熱ダメージを与えることなく計測が可能となりました。
今後日立は、本技術を開発することで、情報通信、エレクトロニクス、医療分野などでの応用が期待される高機能材料のうち、特に有機物質や生体物質などの熱に弱い物質のナノレベル解析に貢献していきます。近年、急速にIoTや人工知能(AI)技術が普及しているなか、ナノレベルで生成・加工した先端デバイスや高機能材料 (ナノマテリアル)は、情報通信やエレクトロニクス、モノづくり、環境・エネルギー、健康・医療などの広範な分野でのイノベーションを牽引すると期待されています。一方、ナノレベルでの物質の生成・加工には未知の部分が多く、組成や分子構造を解析する汎用的な計測装置の開発が求められています。