(レーザー検査)パワーデバイス材料SiCの内部を壊さずに電気特性を調べる技術を開発

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大電力の電圧変換に用いられるパワーデバイスとして、シリコンカーバイド(SiC)という新規結晶材料の採用が期待されています。大きな電力を制御するパワーデバイスを作るには、SiC結晶内部に均一に電気を流す特性を持たせなければなりません。本学大学院工学研究科の加藤正史准教授のグループはSiC結晶を壊すことなく、内部の電気特性を測る手法を世界で初めて開発しました。

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