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#LiDAR 株式会社ハクオウロボティクス（東京都荒川区、代表取締役：鈴木智広）は、当社が開発してきた自動フォークリフト AutoFork 初期モデルが、東京ロジファクトリー株式会社（東京都立川市、代表取締役社長：細川

――既存技術よりも早期の段階で、1万倍高速な検査の実現も視野―― 発表のポイントフォトリソグラフィを用いた半導体製造プロセスの不良検査について、実際にリソグラフィパターンが顕在化する前の段階で検査できる手法を開発しまし

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