タグ: ウエハとマスク検査

製品ニュース

（レーザー関連）株式会社オキサイド/半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザを新たに製品化

～高精度・低ダメージの微細加工で半導体製造の歩留まり改善と工程短縮に貢献～ 株式会社オキサイド（本社：山梨県北杜市武川町牧原 1747 番地 1、代表取締役社長 山本正幸）は、これまで当社の主力製品である半導体ウエハ欠陥

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（レーザー関連）株式会社ニューフレアテクノロジー／A14 ノード対応のマルチ電子ビームマスク描画装置「MBM™-4000」を上市

2025年9月30日 株式会社ニューフレアテクノロジー 株式会社ニューフレアテクノロジー（本社:神奈川県横浜市、代表取締役社長:高松潤）は、マルチ電子ビームマスク描画装置の最新シリーズとして A14 ノード(ナノの 1/

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（レーザー関連）株式会社日立ハイテク他／日立ハイテクと東京大学が半導体分野における 高分解能Laser-PEEMの実用化に向けた共同研究を推進

ウェーハの欠陥検査のスループット向上および化学情報可視化の実現に貢献 株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、国立大学法人東京大学(以下、東京大学)が開発した高分解能Laser-PEEM*1の半導体製造プロセスへの

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