―大型レーザー光源の小型化へ―【研究成果のポイント】 従来の波長変換デバイスとは全く異なる超小型な微小共振器デバイスを作製し、波長変換により波長199 nmの真空深紫外光を発生することに成功 IoTや5G技術の発展に伴い
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タグ: ウエハとマスク検査
（レーザー関連）株式会社日立ハイテク他／日立ハイテクと東京大学が半導体分野における 高分解能Laser-PEEMの実用化に向けた共同研究を推進
ウェーハの欠陥検査のスループット向上および化学情報可視化の実現に貢献 株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、国立大学法人東京大学(以下、東京大学)が開発した高分解能Laser-PEEM*1の半導体製造プロセスへの
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（レーザー関連）東京大学／半導体製造プロセスの現像前超高速検査技術を開発
――既存技術よりも早期の段階で、1万倍高速な検査の実現も視野―― 発表のポイント フォトリソグラフィを用いた半導体製造プロセスの不良検査について、実際にリソグラフィパターンが顕在化する前の段階で検査できる手法を開発しまし
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