微細加工 | Optinews

（レーザー関連）株式会社オキサイド/半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザを新たに製品化

～高精度・低ダメージの微細加工で半導体製造の歩留まり改善と工程短縮に貢献～株式会社オキサイド（本社：山梨県北杜市武川町牧原 1747 番地 1、代表取締役社長山本正幸）は、これまで当社の主力製品である半導体ウエハ欠陥

－ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待－（発表主体：東京科学大学） ○発表のポイント：伝熱制御特性を持つフォノニックナノ構造を従来手法の1,000倍以上高速に作製。サーモリフレクタンス法とモンテカル

新製品LEXT™ OLS5500は、あらゆる表面解析において信頼性の高い測定を提供します。エビデントは、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの技術を1台に搭載した、白色干渉計搭載 3

外部ポンプを不要とする次世代冷却システムの開発に寄与し、カーボンニュートラルの実現に貢献三菱電機株式会社は、国立大学法人京都大学（以下、京都大学）大学院工学研究科の鈴木・名村グループとの共同研究により、直

独自開発したフェムト秒顕微分光装置による有機半導体ナノ構造における光エネルギー移動の直接観測愛媛大学大学院理工学研究科の石橋千英准教授らの研究グループは、独自に開発したフェムト秒顕微分光法

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新東工業株式会社（本社：名古屋市、社長：永井　淳）は、大治事業所（海部郡）にレ－ザ－加工の技術拠点「レ－ザ－ソリューションラボ」を開設しました。大治事業所に開設されたレ－ザ－ソリューションラボ当社は事業

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2025年9月30日株式会社ニューフレアテクノロジー株式会社ニューフレアテクノロジー（本社:神奈川県横浜市、代表取締役社長:高松潤）は、マルチ電子ビームマスク描画装置の最新シリーズとして A14 ノード(ナノの 1/