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タグ: 極端紫外線

2025-07-08 製品ニュース

(レーザー関連)高エネルギー加速器研究機構(KEK)/加速器によるグリーンな半導体露光技術の研究開発を促進

~KEK 提案が「経済安全保障重要技術育成プログラム」に採択~ 本発表のポイント ●Background 政府は、我が国が国際社会において中長期的に確固たる地位を確保し続ける上で不可欠な要素となる先端的な重要技術について

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