(レーザー関連)世界最高級出力の深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器を開発

―高出力化で電機や航空・宇宙分野の部品加工の高生産性と高品位性を実現―

2020年3月19日
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
スペクトロニクス株式会社

NEDOは高輝度・高効率次世代レーザー技術開発に取り組んでおり、今般、スペクトロニクス(株)と共同で、波長266nmの深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器で世界最高クラスとなる出力8Wの発振器を開発しました。従来、深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器は、低い波長変換効率が理由で高出力化が困難でした。今回、NEDOとスペクトロニクス(株)は、近赤外レーザー発生技術と高効率波長変換技術の開発により、その課題を解決し、出力向上を実現しました。これにより、生産性と高品位加工性の向上を両立できるレーザー加工ツールとして、電子部品、電気自動車、航空・宇宙などの産業で、部品および素材加工に活用されることが期待できます。

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