（レーザー関連）東北大学他／ダイヤモンドをシリコンに固定した 超精密微小機械応力センシングを開発

─ 微小電気機械システムの高度化に新展開 ─

【発表のポイント】

• ダイヤモンド量子センサー（注 1）を用いた微小機械応力センシングを開発しました。
• ダイヤモンド結晶内の格子欠陥である窒素-空孔中心（Nitrogen-vacancy center、NVCまたは NVセンター）が発する蛍光の観察方法には一般的な光検出磁気共鳴（ODMR）法（注 2）を用いました。そして機械振動をストロボスコープの原理（注 3）を活用することで、特定の変位における圧縮や引張応力を観測しました。
• 片持ち梁の上下振動だけでなく、ねじれ振動に対してもNVCに応力が加わり、ODMRスペクトルのピークシフトが得られることが確認されました。
• この技術により、様々な形状に加工された単結晶ダイヤモンドを用いて、ダイヤモンド結晶内の量子状態と機械振動とを結合した新たな「量子×電気機械」デバイスの開発に応用することができます。