（レーザー関連）ウシオ電機株式会社／光電融合に対応、ウシオがピッチ補償光学系と位相シフト形成機能を備えた新たな干渉露光装置を開発

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 朝日 崇文、以下 ウシオ）は、干渉縞のピッチ精度0.01nmを達成し、位相シフト構造の形成を実現する新たな干渉露光装置の開発に成功しましたのでお知らせします。なお、本製品は2027年春に販売開始の予定です。

生成AI（人工知能）の競争激化によってデータセンターで扱う電力量が課題となっており、光電融合^※に期待が集まっています。光電融合に用いられるレーザー光源は、導波路に回折格子を有するDFB-LD（分布帰還型レーザー）と呼ばれ、需要は急激に拡大しています。しかしながら、回折格子を形成するためのEB（電子線描画）装置の生産性が低く、供給が追い付いていません。干渉露光技術が、EBの生産性の低さを解決できる可能性を持つことは広く知られておりますが、以下３つの課題により量産適用には至っておりません。