微細加工 | Optinews

（レーザー関連）東京大学他／次世代半導体製造向けの極微細穴あけ加工を実現

国立大学法人東京大学味の素ファインテクノ株式会社三菱電機株式会社スペクトロニクス株式会社 ―業種横断の協働拠点で先端半導体をけん引― 1.発表者：小林洋平（東京大学物性研究所教授）真子玄迅（味の素ファ

～光学部品に新しい機能付加の可能性～ポイント近赤外のフェムト秒レーザーパルスをガラス表面に集光照射したときに形成されるナノ周期構造を、レーザー照射中にリアルタイムで検出できる技術を開発した。本技術は、蛾の眼（モスア

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santec株式会社（本社愛知県小牧市）は、当社第2世代の液晶LCOS（Liquid Crystal on Silicon）技術を用いた空間光変調器（製品型式：SLM-200）の高機能製品として、LCOSの応答速度を大