(レーザー関連)浜松ホトニクス株式会社/先端半導体デバイスの故障箇所を非破壊でマイクロメートル単位の位置精度で特定

 半導体故障解析装置PHEMOS-Xシリーズは、半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障箇所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。  このたび、当社は保有するレーザ・光センサ・計

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