(レーザー関連)名城大学他/高出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーの開発に向けて、 加熱・加圧した水を使用して 基板からAlGaN半導体層を剥離する技術とメカニズムを解明

Applied Physics Expressの「Spotlights 2023」に選出  名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆弘教授、三重大学大学院

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