令和6年7月26日 -― 先端半導体向けリソグラフィー用EUV光源の駆動レーザー負荷低減へ -― 【発表のポイント】 先端半導体注1向けのEUVリソグラフィー注2の光源の研究です。 波長13.5 nmのEUV注3光源の高
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(レーザー関連)オーストリア・EVグループ社/EV GROUP DOUBLES THROUGHPUT OF INNOVATIVE SEMICONDUCTOR LAYER TRANSFER TECHNOLOGY WITH NEW EVG®880 LayerRelease™ SYSTEM
日本語で読みたい方は、 google chromeで開き、 画面上で右クリックをして、「日本語に翻訳」をクリックしてください Dedicated HVM equipment platform boosts product
続きを読む(レーザー関連)ギガフォトン株式会社/ギガフォトン、最新ArF液浸光源機種「GT80A」を出荷
最先端ノード量産での高い生産性をサポート 栃木県小山市;2024年3月27日、半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、新型ArF液浸露光装置用光源
続きを読む(レーザー関連)フォトンブレインジャパン/『先端レーザー装置&加工のグローバルトレンド』
1. はじめに サンフランシスコ@米国で毎年2月初旬に開催されるレーザー装置&光学製品に関する世界最大規模の展示会【Photonics West 2023】、ミュンヘン@独国で2年に一度6月下旬に開催される先端レ
続きを読む(レーザー関連)東京工業大学/「ひねり」の利いたバイオハイブリッドロボット
自在な細胞配列手法によりユニークな筋肉の動きを実現 要点 エラストマー薄膜上の任意の微細溝パターンに沿って筋細胞を配列させたバイオアクチュエータを開発。 筋細胞の配列を制御することで、心筋や括約筋に見られるひねりなどのユ
続きを読む(レーザー関連)広島大学他/電子・スピンの運動を可視化する走査型顕微鏡の開発
—マイクロメートル領域のスピン流を精密に測定— 論文掲載 【本研究成果のポイント】 物質内を伝導する電子・スピンを精密に観察できる走査型顕微鏡を開発 約10万分の1メートルまで微小な領域のスピン流を可視化することに成功
続きを読む(レーザー関連)ギガフォトン株式会社/ギガフォトン、微細アブレーション加工向けにエキシマレーザーを初設置
2.5D/3D半導体パッケージ加工の製造へ採用 栃木県小山市;2023年12月8日、半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、微細アブレーション加工
続きを読む(レーザー関連)米・EFC社/EFC Launches Cymer-Qualified Neon Gas Recycling System, a Game Changer for Excimer Lasers
日本語で読みたい方は、 google chromeで開いて、 画面上で右クリックをして 「日本語に翻訳」をクリックしてください [Hopkinton, Massachusetts] – EFC Gases & A
続きを読む(レーザー関連)筑波大学 及び工学院大学/選択的カラーイメージング法を用いた流体混合現象の新しい計測手法を開発
空間に浮上、合体させた2つの液滴内の流れと流体分布の両方を、蛍光発光粒子を用いて可視化する計測技術を開発しました。これにより、各液滴内部の流体の移動を計測したところ、液滴が合体する際の表面振動によって引き起こされる内部流
続きを読む(レーザー関連)名城大学他/高出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーの開発に向けて、 加熱・加圧した水を使用して 基板からAlGaN半導体層を剥離する技術とメカニズムを解明
Applied Physics Expressの「Spotlights 2023」に選出 名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆弘教授、三重大学大学院
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