～独自の赤外ガス分析技術「IRLAM」を搭載し、最先端の半導体製造プロセスを支える～
HORIBAグループで半導体事業を担う株式会社堀場エステック（以下、堀場エステック）は、レーザーガス分析計「LG-100」を5月21日に発売します。本製品では、半導体製造におけるエッチングプロセスから発生するSiF4（四フッ化ケイ素）の分圧※1変化をリアルタイムに測定することができます。この変化量から、エッチングが規定の深さ（エンドポイント※２）まで到達しているかどうかの判別が可能となります。アンダーエッチング※３およびオーバーエッチング※3のリスクを軽減し、半導体製造プロセスの生産性や歩留まり向上に貢献します。
この情報へのアクセスはメンバーに限定されています。ログインしてください。メンバー登録は下記リンクをクリックしてください。