ポイント
- ガラス表面へのナノ加工時の欠損率を従来法と比べて約 30 分の 1 に低減
- 光学シミュレーションによりナノ周期構造形成時のガラスの透過率が高くなる原因を解明
- 低反射などの機能を必要な部分に位置選択的に付与した光学部品製造に貢献
概 要
国立研究開発法人 産業技術総合研究所（以下「産総研」という）電子光基礎技術研究部門 奈良崎 愛子 総括研究主幹、高田 英行 主任研究員、吉富 大 主任研究員は、国立大学法人 東京農工大学（以下「農工大」という）大学院工学研究院 先端物理工学部門 宮地 悟代 教授、同大学院学生兼同研究所リサーチアシスタント 長井 大輔 氏(当時)、三善 武碩 氏と共同で、レーザー加工によりガラス表面にナノメートルサイズの周期構造（ナノ周期構造）を低欠損で形成するデータ駆動型レーザー加工技術を開発しました。
ガラスの表面へナノ周期構造を形成することで、低反射表面などの効果を付与することができ、高機能なディスプレイや光学機器などへの応用が期待されています。近年、フェムト秒レーザーパルスを用いてガラス表面をナノ加工する技術や、形成されたナノ周期構造をリアルタイムにモニタリングする技術が開発されました。しかし、ガラス表面へのナノ加工はガラスの表面状態やレーザーの照射条件に大きく依存するため、クラックなど欠損のないナノ周期構造を安定に形成することは難しいという技術課題がありました。
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