(レーザー関連)分子科学研究所他/微小空間に閉じ込められた光を用いて少数分子から生じる和周波発生信号を検出

―分子の向きも識別できる次世代のナノ計測技術― (杉本敏樹グループ) 【発表のポイント】 ナノスケールで位置制御できる微小空間に局在した光を利用して、分子からの和周波発生信号(1)を検出することに成功 微小空間に存在する

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(レーザー関連)株式会社日立ハイテク他/日立ハイテクと東京大学が半導体分野における 高分解能Laser-PEEMの実用化に向けた共同研究を推進

ウェーハの欠陥検査のスループット向上および化学情報可視化の実現に貢献 株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、国立大学法人東京大学(以下、東京大学)が開発した高分解能Laser-PEEM*1の半導体製造プロセスへの

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