～深紫外光エレクトロニクスデバイスの高効率化に期待～ 1. 概要 深紫外光とよばれる波長が200-300 nmの光は、人の目では視ることができませんが、殺菌・環境浄化・半導体微細加工をはじめとするさまざまな用途に利用され
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タグ: 科学研究
～深紫外光エレクトロニクスデバイスの高効率化に期待～ 1. 概要 深紫外光とよばれる波長が200-300 nmの光は、人の目では視ることができませんが、殺菌・環境浄化・半導体微細加工をはじめとするさまざまな用途に利用され
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