三菱電機株式会社は、水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMSミラーを搭載した、小型で広い水平視野角を持つ「MEMS式車載LiDAR（ライダー）」を開発しました。自動運転に不可欠なセンサーであり、先行車両や歩行者などの距離や形状を高精度に検知し、高精細な3次元画像を広範囲に取得することができます。小型化・低コスト化による普及を進めることで、安心・安全な自動運転社会の実現に貢献します。
開発の特長
1．独自の構造と2軸走査の電磁駆動により、広い振れ角を持つ業界最大級の軽量ミラーを実現：
- 車載搭載向けに水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMSミラーを開発
- 当社独自のミラー構造採用により面ひずみを抑制し、業界最大級（7mm×5mm）の軽量ミラーでの広い振れ角（水平±15°、垂直：±3.4°）を実現
2．主要部品の最適配置により、広範囲での3次元画像取得と小型化を実現：
- 開発した2軸電磁駆動式MEMSミラーと、複数のレーザー光源の高密度実装と最適配置により、広い水平視野角（120°）を実現することで、先行車両や歩行者などの高精細な3次元画像を広範囲に取得することが可能（図2）
- 信号処理回路基板と光学系部品の最適配置により、ライダー本体を900cc（108mm×105mm×96mm）に小型化
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